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线激光3D轮廓仪线激光3D轮廓仪

线激光3D 轮廓仪，同时兼备超高速与高精度的特点，专为光伏行业硅片检测量身设
计。其采用最新的两百万超高速图像传感器与FPGA+ARM 架构， 2K 轮廓点下采集速率最高可达
25KHz。针对光伏行业优化光路设计，采用10um 蓝光激光器，让微小缺陷无所遁形。内置多
种杂散光抑制算法，呈现硅片表面真实形貌。

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样机演示

产品使用

性能特点

超高测量精度， Z 轴重复精度0.2μm
更大的测量范围，最大视野范围至14mm
X 方向分辨率 5-7um
超高检测速率， 2K 轮廓点下最高可达25KHZ
两百万像素传感器，高动态范围成像（HDR）