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喜报 | 博视像元“半导体深紫外激光光源技术北京市重点实验室”获批，深紫外核心技术再获权威认可
发布时间：2026-06-30 17:46:37
来源：BOPIXEL
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近日，由北京航空航天大学、北京博视像元科技有限公司（以下简称“博视像元”）与中国科学院理化技术研究所联合申报的“半导体深紫外激光光源技术北京市重点实验室”正式获得北京市科学技术委员会，中关村科技园区管委会审批通过。该实验室的获批，标志着北京市对联合团队在266nm和193nm等深紫外前沿技术领域研发实力与创新潜力的高度认可，也是“产学研用”协同攻关关键核心技术的重要里程碑。
深紫外光源，特别是266nm和193nm波段，是半导体制造中晶圆缺陷检测与光刻掩膜板检测的核心技术支撑。博视像元作为全球高端光学影像部件代表企业，将重点承担深紫外激光器的产业化开发任务，推动实验室成果向商业化应用转化。
实验室将充分发挥三方优势：依托北京航空航天大学在光电材料与器件设计方面的理论基础，中科院理化所在深紫外非线性晶体的前沿积累，以及博视像元在深紫外激光器倍频技术、产品化与市场应用方面的产业化能力。实验室将重点攻关全固态深紫外激光器的功率提升、光束质量控制、长期运行稳定性等产业化关键技术，解决从实验室样机到商业化产品的转化瓶颈。
未来，实验室将致力于推动266nm/193nm深紫外激光器在半导体前道晶圆缺陷检测设备、光刻掩膜板检测装备等高端制造领域的规模化应用，为我国半导体装备自主化与产业链安全提供稳定、可靠的深紫外光源解决方案。此次合作将进一步强化博视像元在深紫外技术领域的产业化优势，加速实现高端半导体检测装备的国产替代。
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