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OPR607系列
OPR607系列
DLP投影
OPR607系列。采用超过430万微镜的TI DLP670S 数字微镜器件DMD,由双DLPC900数字控制器驱动。博视像元OPR607具有超高分辨率2716×1600、低畸变、高动态范围、标准C接口、无风扇设计。作为Wafer Level Packaging 的缺陷检测,IC缺陷检测的主动成像的关键核心部件,分辨率和速度达到KLA Tencor 的Icos系列、Cyberoptics最高性能产品的同等水平。填补国内高端和高分辨率主动成像核心部件空白。
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性能特点
产品筛选
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性能特点
1.0.67英寸微阵列、430万业界最高分辨率;
2.5.4 um微镜间隔;
3.420-700nm 宽波长范围,支持蓝光和白光光源;
4.9.5K HZ@1 bit, 1.2K HZ@ 8bit 超高速率;
5.标准C接口,4-200mm 视野可调,覆盖WLP到IC主流尺寸;
2.2.7mm视野下x轴 1μm横向分辨率,兼容最小WLP bump直径;
3.0.05%畸变率@455nm,亚微米级重复精度;
4.无风扇设计、全金属结构、无机械振动和电磁干扰;
5.正投和沙姆(30度)两种结构,适合多相机和多光机场景;
6.多光机串联触发,实现360度无死角成像;
7.紧凑设计、行业最小尺寸长度仅11cm;
工作距离 mm(TYP)
全部
100
120
180
185
700
1000
2000
更多>
DLP
全部
3010
4500
4710
670S
更多>
分辨率
全部
1280x720
912x1140
1920x1080
2716x1600
更多>
模式
全部
正投
沙姆30°
沙姆25°
沙姆20°
Offset100%
更多>
投射比
全部
0.99
1.1
1.16
1.2
1.31
1.32
1.36
1.74
1.99
2
2.2
4.12
更多>
精度 um
全部
19
42
47
62
69
73
106
153
315
556
868
914
1112
1828
更多>
光源
全部
B
RGB
W
更多>
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