线激光3D轮廓仪
线激光3D 轮廓仪， 同时兼备超高速与高精度的特点， 专为光伏行业硅片检测量身设计。其采用最新的两百万超高速图像传感器与FPGA+ARM 架构， 2K 轮廓点下采集速率最高可25KHz。针对光伏行业优化光路设计， 采用10um 蓝光激光器， 让微小缺陷无所遁形。内置多种杂散光抑制算法， 呈现硅片表面真实形貌。
系列特点
- 超高测量精度， Z 轴重复精度0.2μm
- 更大的测量范围， 最大视野范围至14mm
- X 方向分辨率 5-7um
- 超高检测速率， 2K 轮廓点下 最高可达25KHZ
- 两百万像素传感器， 高动态范围成像（HDR）
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