- 公司新闻
- NEWS
2026 年 10 月 27 日 —— 博视像元发布 BC-GM4MU3V10 与 BC-GM4MU3V10-VAC 两款科学级 sCMOS 相机。新品基于 Gpixel GSENSE6504BSI 背照式科学 CMOS 芯片，在 2048 × 2048、6.5 μm 像元的 420 万像素画幅上，实现 0.9 e⁻（rms）读出噪声、-30℃ 片温下 0.004 e⁻/像素/秒的暗电流与最高 300 fps 满幅帧率；VAC 机型采用 CF100 真空法兰，可直接装入真空腔体或光谱仪，面向半导体深紫外检测与量测、弱光光谱、脑科学与活细胞成像。
一、波长变短、信号变弱，噪声成为系统上限
半导体前道检测正沿两个方向收紧：缺陷尺寸随制程缩小，检测波长向深紫外迁移；而深紫外光源功率、光学透过率与材料吸收，又把到达传感器的光子数压到几十个量级。此时读出噪声不再可忽略，它直接决定缺陷“可检出”与“不可检出”；长曝光量测中的暗电流同样抬升背景、压缩动态范围。单分子荧光、超分辨与在体神经成像面对同一约束——信号以光子计数，曝光从毫秒延伸到数十秒，暗电流被完整累积。
二、三项能力，把探测极限推到单光子
亚电子读出噪声。0.9 e⁻（rms）使单光子电荷包可从噪声本底中分辨，弱信号不必再靠长时间累积或强照明换取信噪比；同等光源功率下可提升检出率，或降低光源负担与热效应。
深制冷与低暗电流。TEC 水冷制冷至 -30℃ 片温，暗电流 0.004 e⁻/像素/秒；60 秒曝光单像元累积暗电荷仅约 0.24 e⁻，长曝光由此成为可用手段。
真空密封。真空封装与 TEC 水冷结合，避免结露、污染与制冷效率衰减，消除反复除霜与温漂带来的标定漂移，适配连续运行数周的产线设备与长时程活细胞实验。
三、从深紫外到近红外
背照式结构在 450 nm 峰值量子效率达 95%，200–300 nm 平均量子效率保持 50% 以上，光谱响应覆盖 200–1100 nm。双增益 HDR 模式动态范围 83.4 dB，单帧兼顾强散射背景与微弱缺陷，省去多曝光合成的时间与配准误差。USB 3.2 Gen2x2 接口兼容 GenICam，支持自由、外部与 Link 触发，可作为标准组件接入既有运动平台、光源与采集软件。
四、两种形态与典型应用
标准机型面向常规光学系统；VAC 机型以 CF100 法兰直接安装于真空室或光谱仪，省去转接窗口的光损失与对准误差。两者共用成像核心与软件接口，便于整机厂平台化。
典型应用包括：半导体深紫外明场/暗场缺陷检测、掩模与晶圆表面复查、关键尺寸与套刻量测中的弱信号成像，以及碳化硅、氮化镓衬底与外延层缺陷表征；拉曼与荧光光谱、等离子体发射光谱及真空镀膜、刻蚀的原位监控；单分子成像、超分辨、光片与长时程活细胞成像、在体钙成像；量子光学单光子探测与自适应光学波前传感。
五、供货
两款机型即日起接受订购，提供评估样机、SDK 与集成支持，并可定制光学接口、制冷与真空方案。
六、关于博视像元
博视像元专注科学级与工业级成像产品，覆盖科学级 sCMOS、真空相机与高速成像系统，服务半导体检测、生命科学与光谱分析领域的设备厂商与科研机构。
- 联系方式
-
地址：北京市海淀区知春路76号京东科技大厦6层/北京市北京经济技术开发区锋创科技园7号楼2层
电话：010-64754979
- 销售咨询
-
邮箱：sales@bopixel.com
电话：139 1010 6272 王先生
- 技术支持
- 邮箱：support@bopixel.com
